Influence of Probe Geometry on the Transmission Characteristics of Microwave Cutoff Probe

이 연구는 마이크로파 차단 프로브 기술을 사용하여 플라즈마 밀도 측정에 대한 프로브 형상의 영향을 조사합니다. 구체적으로, 프로브 팁 길이와 팁 간 거리의 변화가 서로 다른 피복 두께 조건에서 투과 스펙트럼과 차단 주파수에 어떤 영향을 미치는지 분석했습니다. 결과는 얇은 피복 조건에서 기하학적 매개변수가 최소한의 영향을 미친다는 것을 보여줍니다. 그러나 외피가 충분히 두꺼우면 구조적 효과로 인해 측정된 차단 주파수와 실제 플라즈마 주파수 사이에 최대 2%의 편차가 발생할 수 있습니다. 높은 측정 정확도를 보장하려면 팁 거리가 피복 너비의 5배 이상이고 프로브 팁 길이가 충분히 긴 것이 좋습니다. 이러한 결과는 플라즈마 진단에서 차단 프로브의 신뢰성과 정밀도를 개선하기 위한 실용적인 설계 지침을 제공합니다.